Das flämische Forschungszentrum imec hat mit der Installation der weltweit modernsten Chipfertigungsanlage in seinem Cleanroom am Standort in Löwen in der Provinz Flämisch-Brabant begonnen. Das System, eine EUV-Lithografieanlage mit hoher numerischer Apertur (NA) des niederländischen Technologieunternehmens ASML, soll die Entwicklung kleinerer und leistungsstärkerer Halbleiterchips ermöglichen.
Imec installiert die weltweit modernste Chipfertigungsanlage in Löwen
Andreas Kockartz
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Laut imec markiert die Installation einen bedeutenden Schritt in Richtung des „Angström-Zeitalters“, in dem Chipstrukturen bis zu zehnmal kleiner sein werden als heute. Diese Miniaturisierung gilt als unerlässlich für zukünftige Anwendungen künstlicher Intelligenz. „Heute installieren wir nicht nur ein Gerät. Wir schlagen ein neues Kapitel der digitalen Revolution auf“, sagte imec-CEO Luc Van den Hove: „Die EUV-Lithografie mit hoher NA wird entscheidend sein, um die Chipindustrie ins Angström-Zeitalter zu führen. Diese ultrakleinen Dimensionen sind unerlässlich für die KI-Anwendungen der Zukunft.“
Die Anlage nutzt extremes ultraviolettes Licht in Kombination mit einer höheren numerischen Apertur, wodurch noch feinere Strukturen auf Siliziumwafer „gedruckt“ werden können. Dies ermöglicht eine höhere Rechenleistung und Effizienz bei gleicher Fläche.
Bedeutender technologischer Meilenstein
Das Gerät, etwa so groß wie ein Stadtbus und rund 150 Tonnen schwer, wird in mehreren Teilen nach Leuven transportiert. Die Installation findet im Beisein mehrerer wichtiger Persönlichkeiten statt, darunter der flämische Ministerpräsident Matthias Diependaele, imec-CEO Luc Van den Hove und der ehemalige ASML-Manager Martin van den Brink.
Entwickler und Hersteller ASML unterstrich ebenfalls die Bedeutung dieses Meilensteins. „Die Installation bei imec ist ein wichtiger Schritt in Richtung Angström-Ära“, sagte ASML-CEO Christophe Fouquet: „Gemeinsam beschleunigen wir die Weiterentwicklung und den Einsatz von EUV mit hoher numerischer Apertur (NA) für die nächste Generation fortschrittlicher Speicher- und Computerchips.“
Strategische Bedeutung für Europa
Löwen ist der erste Standort in Europa, an dem eine EUV-Anlage mit hoher NA in eine Produktionslinie integriert wird. Das Projekt ist Teil einer umfassenderen Zusammenarbeit zwischen imec und ASML, die von der flämischen und der niederländischen Regierung sowie von europäischen Programmen gefördert wird. „Als wesentlicher Bestandteil der NanoIC-Pilotlinie wird das Gerät Europa in den kommenden Jahrzehnten eine bedeutende Rolle im globalen Chip-Ökosystem sichern“, sagte Van den Hove.
Laut dem flämischen Ministerpräsidenten Matthias Diependaele (N-VA) unterstreicht die Installation zudem die strategische Bedeutung des Sektors. „Künstliche Intelligenz und Halbleiter bilden das Rückgrat unseres wirtschaftlichen Wohlstands, unserer Sicherheit und unserer strategischen Autonomie. Mit dieser Installation bestätigt imec seine Rolle als Dreh- und Angelpunkt des globalen Chip-Ökosystems und ermöglicht es Europa, die Richtung der KI-Innovation mitzubestimmen.“
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